微型加速度传感器原理设计及制造任务书

 2020-04-03 01:04
设计(论文)主要内容
微机电系统中的微型加速度传感器在目前智能终端中广泛应用。本项目研究根据微型加速度传感器的原理对其进行设计,并利用微机电系统的工艺方法进行工艺分析。

完成的主要任务及要求
1.查阅不少于15篇相关文献,其中英文文献不少于2篇,完成开题报告。
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