微尺寸静电马达原理及工艺设计任务书

 2020-04-03 01:04
设计(论文)主要内容
微静电马达是微机电中的典型运动机械。本课题根据静电马达的运动原理,设计其相应的结构,并讨论利用微加工工艺进行至少三种不同的结构静电马达的设计。

完成的主要任务及要求
1.查阅不少于15篇相关文献,其中英文文献不少于2篇,完成开题报告。
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