等离子体处理技术在工业上的应用开题报告
2020-04-15 02:04
1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)
文 献 综 述
一、简介
等离子体是物理学科研究中的一个分支,目前等离子体技术已被广泛地用于国防、工业、农业、环境、通信等一系列国民经济发展领域,例如:微电子电路等离子体镀膜、刻蚀、沉积、等加工过程,极大地推动了信息产业的发展,促进了工业科技进步,它应用的范围广,种类繁多,大到宇宙航天、国防军事工程、核聚变反应堆,小到纳米材料、信息工业的超大规模集成电路中0.0001㎜集成块的生产,均离不开等离子体技术。特别是进入21世纪,随着科技进步和社会生产力发展,人类的生活质量不断提高,随之而来的人口与寿命增长,全球资源日趋枯竭,生态破坏和环境污染,已成为全球面临的严峻问题,全世界对此已高度重视,人类不得不反思以往行为,重新审视当今社会的经济发展模式,再不能以破坏地球生存环境为代价来换取经济的高速发展,而要最大限度地减少资源浪费,利用浩瀚的宇宙存在的自然条件,向海洋、太空索取能源和资源,其中等离子体#8212;#8212;自然界中物质存在的第四态就是21世纪需大力开发的新技术之一[1]。
2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
本课题研究的主要问题:
主要研究等离子体处理技术及应用,对等离子体的清洁技术、电弧技术、表面处理技术镀膜、刻蚀等技术在纺织印染、包装印刷工业、处理工业废气、工业废水等方面的作用机理和实施方法具体分析和讨论,并且分析其特点和不足,并结合传统的处理方法进行讨论,同时结合等离子体的原理探讨其发展前景。
拟采用以下的研究方法: