1. 研究目的与意义

考虑圆形截面微机械谐振器件。

利用ansys软件建立圆形截面微机械谐振器件的三维模型，并用有限元方法计算该类器件的动力学特性以及热弹性能量耗散。

比较圆形截面微机械谐振器件与常见矩形截面微机械谐振器件，分析圆形截面对器件的振动频率、模态等振动特性，以及品质因数的影响。

2. 国内外研究现状分析

国内研究现状

由半导体工业中的微细加工技术与机械工业中的微型机械加工技术结合而产生并逐渐发展起来的微电子机械系统(mems:microelectro mechanical sys-tem)是微米、纳米电子学的重要领域,是一项极具发展前景的军民两用高技术,它的出现,将引发一场新的技术革命。

我国开展mems研究始于20世纪80年代末,10多年来研究队伍迅速发展和扩大,目前已有40多个单位的50多个研究小组,在新原理微器件、通用微器件、新的工艺和测试技术以及初步应用等方面取得了显著的进展。1995年国家科技部实施了攀登计划微电子机械系统项目(1995～ 1999年)。1999年集成微光机电系统研究项目通过了国家重点基础研究发展规划的立项建议。我国已开展了包括微型直升飞机、力平衡加速度传感器、力平衡真空传感器、微泵、微喷嘴、微电机、微电泳芯片、微流量计、硅电容式麦克风、分裂漏磁场传感器、集成压力传感器、微谐振器和微陀螺等许多微机械器件的研究和开发工作。我国在mems的研究单位主要集中在科研院所和高校，已开展了相关的微机理、微细加工工艺的研究，研发的 mems 器件有：微传感器类、微电机、微流体类芯片、微生物化学芯片、光 mems、射频mems 器件及微测控组合、微细胞操作系统、微机器人、微纳卫星等等。

3. 研究的基本内容与计划

及计划 学习内容：

1. 学习ansys有限元分析软件。

2. 学习matlab软件绘图功能。

4. 研究创新点

比较圆形截面微机械谐振器件与常见矩形截面微机械谐振器件，分析圆形截面对器件的振动频率、模态等振动特性，以及品质因数的影响。