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基于PLC的镀膜机控制系统设计文献综述

 2020-06-10 10:06  

一、镀膜机概述

镀膜机主要是将一类特殊需要的物体进行的镀膜,包括离子蒸发,磁控溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种[1]

蒸发镀膜是加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料,使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸汽流,入射到固体(称为衬底或基片)表面,凝结形成固态薄膜的方法。

所谓溅射镀膜,是指在相对稳定的真空状态下, 在阴阳极间施加一定的电压就会产生辉光放电,极间气体分子被离子化而产生带电电荷, 其中正离子受阴极负电位加速运动而撞击阴极靶材,将其原子等粒子溅出,溅出的粒子沉积在阳极基板上而形成薄膜。

二、PLC的概况及应用

PLC(Programmable Logic Controller),是可编程逻辑控制器。它采用一类可编程的存储器。目前,PLC在国内外已广泛应用于钢铁、石油、化工、电力、建材、机械制造、汽车、轻纺、交通运输等各个行业,使用情况主要分为如下几类:

1、模拟量控制

为了使可编程控制器处理模拟量,必须实现模拟量(Analog)和数字量(Digital)之间的A/D转换及D/A转换[3]

2、过程控制

过程控制是指对温度、压力、流量等模拟量的闭环控制。作为工业控制计算机,PLC能编制各种各样的控制算法程序,完成闭环控制[4]

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