1. 研究目的与意义及国内外研究现状

本次论文研究了ZnO的相关背景知识，准备用PLD进行ZnO薄膜的制备，并通过对不同厚度ZnO薄膜的表征对其进行研究。目的是通过实验研究，学习相关知识，锻炼分析能力和操作能力。

近年来，对Zn0薄膜光电性质的研究发展迅速，尤其是对Zn0薄膜的发光特性的研究更是迅猛。对光致发光的研究是Zn0研究人员必然的研究内容。ZnO薄膜的光致发光一般有三种:紫外发射、蓝紫光发射和绿光发射。紫外发射一般被认为是激子的辐射复合产生的，而可见波段的发光机制还没有统一的定论。目前大体上有三种解释:(1)氧空位引起的;(2)锌空位引起的;(3)氧错位引起的。通常认为绿光发射是来自氧空位(Vo)o Vanheusden等人进一步研究表明Zn0的绿光发射是由于一价氧空位中电子和价带中光生空穴的复合。近来，有人根据第一原理进行了理论计算，其结果表明氧缺陷(Vo)具有较低的热形成能，极易形成氧空位。氧空位俘获光生电子后与价带空穴复合。另外an Dijken等人提出绿光发射是源于浅陷阱的电子和深陷阱的空穴复合，EPR研究己经证实顺磁共振信号主要来自于带一个电子的氧空穴[[49. 50, 51]。总之，国内外对于ZnO 机制众说纷纭，没有统一的说法。

2. 研究的基本内容

PLd方法制备ZnO薄膜，使用XRD进行表征，用阻抗分析仪进行分析。

3. 实施方案、进度安排及预期效果

4月份进行背景研究，5月份去东南大学进行实验，之后进行分析。

进度基本完成。

4. 参考文献

zno薄膜的制备及其特性研究_于元勋

椭圆偏振法测量薄膜参量的数据处理_王洪涛

椭圆偏振仪测量误差的修正_朱筱玮