文 献 综 述 一、选题的背景及意义 气体放电产生的低温等离子体含有大量的高能电子、离子、激发态离子和其他活性粒子，可以作为一种新型的分子活化手段，在航空航天、能源环境、生物医疗、材料表面处理、食品存储等领域具有良好的应用前景。

介质阻挡放电(DBD)是指有绝缘介质覆盖电极或插入放电空间抑制电弧击穿，形成稳定放电的一种气体放电形式。

由于其结构简单、实现成本低和可在大气压下产生大面积低温等离子体的特点，已应用于材料表面改性等工业领域。

然而在大气压下，DBD通常表现为丝状流注放电模式，难以对材料表面进行均匀改性并有可能灼伤材料表面，这限制了其工业应用前景。

研究者发现DBD均匀性受电源类型、电压幅值、电极结构、气体组分等因素影响较大。

其中纳秒脉冲放电由于其电压上升沿时间短，其能量大部分被用于产生高能量电子，放电电压可远高于帕邢曲线气体击穿电压、及直流或交流放电电压，还可有效抑制丝状放电现象，形成均匀稳定放电，被越来越多的研究者用于改善放电均匀性和稳定性，进一步提升等离子体化学活性[1-5]。

二、国内外研究现状 DBD 放电特性具有许多影响因素，如外施电压频率、外施电压类型、阻挡介质类型、阻挡介质表面形貌和工作气体等[6]。

在诸多因素之中，外施电压频率比较容易调节，并且能对放电特性造成较为明显的影响，是调控DBD 特性的主要方法之一。

国内外已有许多学者针对不同的频率正弦交流电压对 DBD 放电特性的影响规律开展了相关实验和理论研究[7]。

Takaki K,利用实验或数值仿真研究了 10 kHz~10 MHz 范围内 DBD 的放电特性[8]。