一、研究的目的及其意义

信息获取与处理已经成为现代信息技术领域的核心，对社会发展、科技进步起着重要的作用。传感器作为信息获取与处理系统中最前端的部件，直接面向被测量的对象，将被测对象的被测量参数转化成为电信号，是现代信息技术的重要基础。

电涡流传感器具有非接触性、精度高、重复性好、不受被测体之间介质变化的影响等特点。在现代企业中，高速旋转机械设备一般都安装了状态监测系统，它对于企业正常安全生产是必不可少的。它准确、及时地将转子运转的各种参数显示出来，是人们能及时了解机器的运行状态，以便能安全、可靠地进行操作。近年来，电涡流传感器被广泛应用于高速旋转机械的轴向位移、径向振动、转速、轴心轨迹等测量中，在生产中发挥出越来越大的作用。

二、国内外研究概况

电涡流传感器已经有了几十年的研究及应用的历史，在发展过程中逐渐走向成熟。从文献报道中看，当前电涡流位移传感器的研究主要集中在传感器的小型化乃至微型化方面。利用印制电路板技术制作电涡流线圈，并进一步利用厚膜电路技术、集成电路技术，实现低成本、小型化的传感器，已经在精度要求比较低的场合获得应用。而利用MEMS工艺，实现电涡流传感器的微型化，这在一些特殊应用场合有应用前景。

几种新型电涡流传感器介绍

1 磁通会聚型电涡流无损检测传感器

2. 脉冲电涡流无损检测传感器.