1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述 随着制造业的不断发展，位移传感器在航天航空、机械、建筑、纺织、铁路、煤炭、冶金、塑料、化工以及科研院校等国民经济各行各业各领域扮演着越来越重要的角色，它们主要用在精密加工中零部件的尺寸、测量伸长、振动、物体厚度以及表面形貌测量、精密运动的位移测量等，位移传感器的测量精度体现了一个国家精密制造业的水平和能力。

由于精密加工技术和生物技术的特征尺寸不断减小，逐步进入亚微米、甚至纳米级精度，这就对位移传感器提出了更高的要求。

随着纳米科技的出现，对高精度位移传感器的需求越来越多，纳米级传感器应运而生，这类传感器有着纳米甚至亚纳米的分辨力，测量不确定度达到几纳米。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

本课题首先进行微位移传感器基本原理的学习，了解夹具夹装相关的知识，结合当前国际国内情况，依据现有的技术手段和方法，采用千分表作为测长基准，在符合阿贝原则的情况下，用夹具进行夹装，实现微位移传感器的校准。

#61656;需要解决的问题：设计校准装置，对微位移传感器进行校准。

#61656;采用的方法：相关理论知识学习及使用。