1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献综 述

1.高纯氢气的应用

能源与环境是本世纪的两大主题, 氢能源作为无污染的可再生能源,受到全世界的日益关注,”氢经济”正在逐渐走进人们的生活。氢气在工业中用途广泛。广泛应用于石油化工、半导体、电子工业、冶金工业、食品工业、浮法玻璃、航空航天工业等领域。

在电子工业，一些电子材料与衬底的制备、氧化与外延工艺及化学气相淀积（cvd）中，均采用氢气作为反应气、还原气或保护气。半导体集成电路的生产对气体纯度要求很高，如氧杂质的允许浓度为10^-12等。微量杂质的”掺入”，将会改变半导体的表面特性，甚至使产品成品率降低或造成废品。在制造非晶体硅太阳能电池中，也需要用到纯度很高的氢气。非晶硅薄膜半导体是国际上近些年来新研制成功的材料，在太阳能转换和信息技术等方面已展示出了极大的应用前景。光导纤维的应用和开发已经规模使用，石英玻璃纤维是光导纤维的主要类型，在光纤预制棒制造过程中，需要采用氢氧焰加热，数十次沉积，这些都要求使用高纯度的氢气。其要求氢气的纯度为99.999%。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

1.装置搭建：

根据实验要求及操作流程，应用钯膜组件、防爆电磁阀、温度传感器、压力变送器、真空泵及加热器等进行装置结构设计，气路部分采用不锈钢管路连接，再运用自动化控制技术搭建出一套全自动实验装置，相比手动操作，本实验装置避免了人为操作不当造成的钯膜损坏，同时拥有更高的稳定性及安全性。

2.同环境下检测钯膜的性能及寿命：