基于白光干涉法测量纳米薄膜的厚度任务书
2020-04-21 04:04
1. 毕业设计(论文)主要内容:
当薄膜厚度降低至纳米量级时,将出现很多新的现象,因此准确测量纳米级薄膜厚度非常重要。
在众多纳米级薄膜的检测方法中,白光干涉法具有对环境不敏感、抗干扰能力强、测量动态范围大、结构简单等优点。
特别是,选用宽谱光源的白光干涉法相较于其他窄带光源干涉法,由于中心零级干涉条纹的存在,只用一个干涉仪即可实现对被测物理量的绝对测量。
2. 毕业设计(论文)主要任务及要求
设计(论文)完成的主要任务:
1、对比纳米薄膜厚度的常用检测方法,分析白光干涉法用于纳米级膜厚和贵金属薄膜测量的问题;掌握白光干涉的原理和信号解调技术;
2、查阅相关文献,根据白光干涉原理,推导不同纳米级薄膜的干涉结果表达式,并分析影响精度的因素;尝试根据已有的理论模型,设计实验测量系统和信号解调方案;
3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排
第7学期:完成选题和任务布置第8学期:
第1-3周:查阅相关文献资料,明确研究内容,了解纳米级薄膜厚度的测量方法,并掌握白光干涉信号与薄膜厚度的关系,完成开题报告;
第4 - 6周:完成英文文献翻译,进一步完善研究目标,掌握干涉信号的检测与干涉信号的解调方法;
4. 主要参考文献
[1] jo t, kim k r, kim s r, et al. thickness and surface measurement of transparent thin-film layers using white light scanning interferometry combined with reflectometry[j]. journal of the optical society of korea, 2014, 18(3):236-243.
[2] xu c, yi y, shu z, et al. investigation of spectral shifts in a white light interferometer with a single interference peak[j]. optical engineering, 2015, 54(4):044105.
[3] 杨玉孝, 熊开利, 孙艳,等. 光纤白光干涉法与膜厚纳米测量新技术研究[j]. 光子学报, 2003, 32(8):973-976.
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