基于白光干涉的纳米级薄膜厚度和光学常数的研究任务书
2020-02-11 12:02
1. 毕业设计(论文)主要内容:
在众多纳米级薄膜的检测方法中,白光干涉法具有对环境不敏感、抗干扰能力强、测量动态范围大、结构简单等优点。论文以贵金属和金属氧化物薄膜为样品,对白光干涉法实现纳米级薄膜测量的准确性和可靠性进行深入地研究。
1、对比纳米薄膜厚度和光学常数的常用检测方法,分析白光干涉法用于纳米级薄膜测量的优缺点;掌握白光干涉的原理和信号解调技术;
2、查阅相关文献,根据白光干涉原理,推导不同纳米级薄膜的干涉结果表达式,并分析影响精度的因素;尝试根据已有的理论模型,设计实验测量系统和信号解调方案;
2. 毕业设计(论文)主要任务及要求
1、查阅不少于15篇的相关文献资料,其中英文文献不少于3篇,完成开题报告。2、掌握白光干涉的原理和信号解调技术,完成纳米级薄膜的测量。
3、完成不少于5000汉字的英文文献翻译。
4、完成不少于12000字的论文。
3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排
第1-3周:查阅相关文献资料,明确研究内容,了解纳米级薄膜的测量方法,并掌握白光干涉信号与薄膜的关系,完成开题报告;第4 - 6周:完成英文文献翻译,进一步完善研究目标,掌握干涉信号的检测与干涉信号的解调方法;
第7 - 9周:设计并搭建实验平台,通过实验完成对ag、au、zno等纳米级薄膜厚度和光学常数的测量,同时完成对测量结果的处理;
第10-13周:对实验结果进行误差分析,并考虑可能的影响因素,对实验结果进行修正。
4. 主要参考文献
[1] jo t, kim k r, kim s r, et al. thickness and surface measurement of transparent thin-film layers using white light scanning interferometry combined with reflectometry[j]. journal of the optical society of korea, 2014, 18(3):236-243.[2] xu c, yi y, shu z, et al. investigation of spectral shifts in a white light interferometer with a single interference peak[j]. optical engineering, 2015, 54(4):044105.
[3] 杨玉孝, 熊开利, 孙艳,等. 光纤白光干涉法与膜厚纳米测量新技术研究[j]. 光子学报, 2003, 32(8):973-976.
[4] li m, li y. fiber-optic temperature sensor based on interaction of temperature-dependent refractive index and absorption of germanium film[j]. applied optics, 2011, 50(2):231-236.
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