基于白光干涉的纳米级薄膜厚度和光学常数的研究任务书

 2020-02-11 12:02
设计(论文)主要内容

在众多纳米级薄膜的检测方法中,白光干涉法具有对环境不敏感、抗干扰能力强、测量动态范围大、结构简单等优点。论文以贵金属和金属氧化物薄膜为样品,对白光干涉法实现纳米级薄膜测量的准确性和可靠性进行深入地研究。

1、对比纳米薄膜厚度和光学常数的常用检测方法,分析白光干涉法用于纳米级薄膜测量的优缺点;掌握白光干涉的原理和信号解调技术;

2、查阅相关文献,根据白光干涉原理,推导不同纳米级薄膜的干涉结果表达式,并分析影响精度的因素;尝试根据已有的理论模型,设计实验测量系统和信号解调方案;

3、搭建实验平台,测量Ag、Au、ZnO等纳米级金属薄膜的厚度和光学常数,分析其测量精度和误差。

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