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1. 研究目的与意义及国内外研究现状

最近几年来国内外的研究者分别在低温制备的设备、工艺、薄膜的表面改性、多层膜系的设计和制备工艺方面进行了深入的研究。透明导电薄膜主要用于光电器件（如led，薄膜太阳能电池等）的窗口材料。透明导电氧化物薄膜简称tco薄膜，是光电子科技材料中最主要的材料之一。tco薄膜一般特点是禁带宽度大（一般都大于3.0ev）\多晶结构、透光率高、极易被掺杂、电阻率低而电导率高。随着tco薄膜研究的逐渐深入，其制备工艺也在不断完善及发展，tco薄膜也得到了越来越多的应用。

2. 研究的基本内容

1. 文献调研，分析氮掺杂氧化锌薄膜的国内外研究进展，
2. 了解氮掺杂氧化锌薄膜的基本制备方法和检测手段
3. 采用溶胶-凝胶法制备氮掺杂ZnO薄膜
4. 检测所制备样品的光学和电导特性。
5. 数据分析，阐述氮掺杂氧化锌薄膜的制备工艺参数对其性能的影响。

3. 实施方案、进度安排及预期效果

本文对氮掺杂氧化锌基透明导电薄膜的特性进行研究。在认真进行实验的基础上，着重分析n掺杂氧化锌基透明薄膜的特性。

具体进度安排如下：

(1)2018年11月至2019年2月

4. 参考文献