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MoS2基场效应晶体管研究进展开题报告

 2020-06-08 09:06  

1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)

一、 mos2物理性质研究

tmdcs(mose2,mote2,ws2,和wse2等)是很好的研究具有较大能隙的层状材料由散装改为分层形式(间接到直接)过渡从而产生独特的物理性质的材料[1],这些未来将会采用在半导体设备上[2]。尤其令人注意的是由透明胶带技术常规制备和化学气相沉积(cvd)法制成的二硫化钼(mos2),几十年来,由于其在电子和光学性质上精巧的分层形式、纳米结构等其他架构,而广受瞩目[3-8]。因为 mos2层与层之间存在相互作用较弱的范德瓦耳斯力,其从19世纪开始便被用作润滑剂[9, 10],并由其较高的润滑系数(0.1-2n的压力承载对应摩擦系数lt;0.1 )[11]及在氧化环境中的热稳定性(350度),在空间科技、超高真空、自动传输摩擦学等等领域中有广泛的应用[12]。此外,mos2还是一种高强度的力学材料:单层mos2强度是钢铁的30倍,并且能够达到11%的形变而不断裂。

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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

通过检索并阅读近年来关于MoS2晶体管的英文文献,获取其中有关晶体管研究的有用信息,研究MoS2的基本性质(结构、光学、电学等性质)、制备技术、表征手段、主要应用和MoS2晶体管的进展、存在的科学问题等几个方面。

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