1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述 光干涉测量技术在微电子、微光学和现代工业等领域得到广泛应用，其中最常用的技术是迈克尔逊干涉测量技术[1-3]，该技术的核心是要准确地计算干涉环”冒出”或”陷入”的环数，以满足后续微距离测量的实际应用需求。

在实际使用中干涉环的计数多采用人工法，即用人眼直接观察成像到屏幕上的干涉环变化。

该方法极易造成眼睛疲劳而影响读数的准确性。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

1、查找有关本论文的文献资料，理解面振CCD与线性CCD的优缺点及适用领域。

2、掌握基于面振CCD的迈克尔逊干涉仪和牛顿环进行干涉环计数的工作原理 3、给出设计方案，选用迈克尔逊或牛顿环进行实验