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基于磁控溅射的Diamond/SiC界面研究任务书

 2020-04-07 10:04  

1. 毕业设计(论文)主要内容:

金刚石(diamond)是自然界中天然存在的最坚硬的物质。

diamond由碳元素组成,晶体结构为立方晶系,由于其特殊的结构,diamond可应用于珠宝、切割工具、矿山开采、新世代高性能宽禁带半导体材料等用途。

但是,diamond在空气中容易被氧化,600℃以上就会丧失功能,其有限的高温耐受性极大地限制了diamond的应用。

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2. 毕业设计(论文)主要任务及要求

1. 使用射频磁控溅射制备技术,以sic靶材为溅射源,在diamond粉体衬底上溅射沉积sic纳米薄膜,研究磁控溅射各参数对薄膜生长的影响。


2. 对sic薄膜的晶体结构,微观形貌及diamond/sic界面的抗氧化性等进行测试研究。


3. 阅读的参考文献不少于15篇(其中近5年外文文献不少于3篇)。

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3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排

第 1-4 周:查阅相关文献资料;在明确毕业论文研究内容的基础上撰写并提交开题报告;
第 5-6 周:学习并掌握相关理论知识及仪器操作,论文开题;
第 7-12 周:进入毕业论文环节,撰写论文初稿;
第 13-16 周:修改并提交毕业论文;
第 17 周:毕业答辩。

4. 主要参考文献

[1] 臧建兵,赵玉成,王明智,王艳辉,超硬材料表面镀覆技术及应用[J],金刚石与磨料磨具工程,2000(3):8-12
[2] 余东海,王成勇,成晓玲,宋月贤,磁控溅射镀膜技术的发展[J],真空,2009(46):19-25
[3] 张书达,孙景,用高温显微镜直接观测金刚石的氧化过程[J],超硬材料工程,2006(18):23-25
[4] Z. Li, L. Yang, D. Ge, Y. Ding, L. Pan, J. Zhao and Y. Li,Magnetron sputtering SiC films on nickel photonic crystals with high emissivity for high temperature applications [J],Applied Surface Science,2012(259):811-815

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