流延法制备Si3N4陶瓷基板研究任务书
2020-04-26 11:04
1. 毕业设计(论文)主要内容:
氮化硅是一种重要的结构陶瓷材料。它是一种超硬物质,本身具有润滑性,并且耐磨损,耐腐蚀,高温时抗氧化。而且它还能抵抗冷热冲击,在空气中加热到1000℃以上,急剧冷却再急剧加热,也不会碎裂,同时也具有较高的热传导效率,绝缘性能良好。通过流延工艺,制备出一定厚度的素坯,采用合适的烧结工艺,制备出性能优良的陶瓷基板,对于当前半导体产业,面临着集成度不断提高,器件功率变大,散热不足的瓶颈,具有重要的现实意义。
设计(论文)主要内容:
1.文献调研,了解国内外相关研究概况和发展趋势;
2. 毕业设计(论文)主要任务及要求
1.查阅不少于15篇的参考文献(其中近5年英文文献不少于3篇),完成开题报告;
2.掌握流延成型的工艺流程;
3.掌握si3n4陶瓷基板结构与性能的表征方法;
3. 毕业设计(论文)完成任务的计划与安排
第1-3周:查阅相关文献资料,完成英文翻译。明确研究内容,了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案,并完成开题报告。
第4-7周:按照设计方案,进行流延工艺相关实验,制备出符合性能要求的流延坯体,进行烧结。
第8-11周:采用xrd、fesem、显微硬度、力学试验等测试技术对si3n4陶瓷基片的物相、显微结构、电化学性能进行测试。
4. 主要参考文献
[1] mistler re, twiname e r. tape casting: theory and practice[j]. 2010.
[2] pengh. spark plasma sintering of si3n4-based ceramics : sinterinmechanism-tailoring microstructure-evaluationg properties[m]. 2004.
[3] roncarie, pinasco p, nagliati m, et al. tape casting of aln–sic–mosi2 composites[j].journal of the european ceramic society, 2004, 24(8):2303-2311.
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