激光化学气相沉积SiCN薄膜及其结构控制任务书

 2020-02-11 12:02
设计(论文)主要内容
研究不同温度和压强对硅基板上激光化学气相沉积法沉积生长碳氮硅薄膜的影响。探究SiCN薄膜的生长过程和生长模式,探索适合生长出不同结构的SiCN薄膜的条件。
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