1. 研究目的与意义（文献综述）

（1） (1)探索镍酸镧导电薄膜的制备工艺，获得导电性优良的底电极材料，同时对其进行电学性能分析。

2. 研究的基本内容与方案

(1)拟采用溶胶-凝胶法制备镍酸镧底电极。溶胶-凝胶法(sol-gel)起源于二十世纪七十年代，广泛用于制备纳米粒子。采用溶胶-凝胶法植被的催化剂材料颗粒粒径小、拥有更大的比表面积、纯度高、具有较高的晶体结构均匀性。溶胶-凝胶法制备薄膜首先是配置前驱体，即将各组分的金属醇盐等原材料按照化学计量比溶于合适的化学溶剂中，再经磁力搅拌形成溶胶，然后经充分吸收水分，在溶胶内部进行一系列的缩合反应最终形成稳定的凝胶。第二步是制膜，采用旋转涂膜或是提拉成膜等方法，在衬底上形成湿膜。第三步是预处理，将制好的湿膜在一定温度下预退火，使有机物挥发，形成无定形的薄膜。最后是热处理，将薄膜在较高温度下退火，使其成为结晶性能良好的晶体薄膜。

（1） (2)同样采用sol-gel法在lno底电极上制备bnt储能薄膜，并通过电学表征得到介电和铁电性能参数，同时辅助以xrd和sem表征相结构和微观结构。

3. 研究计划与安排

（2） （2）第4－7周：按照设计方案，通过调控工艺参数制备导电性良好的镍酸镧薄膜。

（3） （3）第8－12周：在镍酸镧薄膜叠加储能薄膜，并表征电学性能，在此基础上分析氧化物电极对薄膜电学性能的影响。

（4） （4）第13－14周：总结实验数据，完成并修改毕业论文。

4. 参考文献（12篇以上）

[1]r.i.mahdi.w.c.gan. n.a.halim.t.s.velayutham.w.h. abd.majid.ferroelectric and pyroelectric properties of novel lead-free polyvinylidenefluoride trifluoroethylene bi_0.5na_0.5tio₃ nanocomposite thin films for sensing applications[j].ceramic international,2015(42):13836-13843

[2]李建康，姚熹. lano₃衬底上pb(zr_xti_1-x)o₃铁电薄膜及梯度薄膜的制备和研究[j]. 物理化学学报,2005(5)：512-516.

[3]陈如麒,翁嘉文,劳媚媚,徐军,朱贵文.化学溶液沉积法制备铁掺杂镍酸镧薄膜的结构及电学性能研究[j]. 中山大学学报（自然科学版）, 2012 51(3):60-62.