1. 毕业设计（论文）主要内容：

锆钛酸铅（pzt）是锆酸铅(pbzro₃,pz)和钛酸铅(pbtio₃, pt)的连续固溶体pbzr_xti_1-xo₃，是一种典型的复合钙钛矿abo₃型化合物。锆钛酸铅(pzt)薄膜是一种新颖的功能材料，因其具有优良的压电性能而引起国内外学者的广泛关注，成为国际上器件研究的新热点。本课题拟采用磁控溅射的方法制备pzt压电薄膜，研究pzt压电薄膜的最佳退火工艺与最佳溅射工艺。同时探究pzt压电薄膜电输出性能的影响因素，并获得电输出性能高的制备工艺及性能参数。

设计（论文）主要内容:

1．文献调研，了解国内外相关研究概况和发展趋势；

2. 毕业设计（论文）主要任务及要求

1．查阅不少于15篇的参考文献（其中近5年英文文献不少于3篇），完成开题报告；

2．掌握磁控溅射法制备pzt压电薄膜的方法；

3．掌握pzt压电薄膜电输出性能的影响因素及测试方法；

3. 毕业设计（论文）完成任务的计划与安排

第1—3周：查阅相关文献资料，完成英文翻译。明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案，并完成开题报告。

第4—6周：按照设计方案，采用磁控溅射的方法，完成pzt压电薄膜的制备和表征。

第7—9周：对制备的pzt压电薄膜进行电输出性能的测试。

4. 主要参考文献

[1] suchaneck g, labitzke r, adolphi b, et al.deposition of pzt thin film onto copper-coated polymer films by mean ofpulsed-dc and rf-reactive sputtering[j]. surface amp; coatings technology,2011, 205(4): 241-244.

[2] bose a, maity t, bysakh s, et al.influence of plasma pressure on the growth characteristics and ferroelectricproperties of sputter-deposited pzt thin films[j]. applied surface science,2010, 256(21): 6205-6212.

[3] zhang x d, meng x j, sun j l, et al. thealternative route of low-temperature preparation of highly oriented leadzirconate titanate thin films by high gas-pressure processing[j]. journal ofmaterials research, 2008, 23(11): 2846-2853.