磁控溅射用铌酸钾钠陶瓷靶材的制备开题报告
2020-04-18 07:04
1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)
1.引言 过去,铅基压电材料,如(pb,zr)tio3和pb(mg,nb)-pbtio3系统,已经占据了价值数十亿美元的电子设备市场。
锆钛酸铅体系(pzt) 具有优异的电学性能以及其良好的稳定性与工艺适应性,数十年来备最受研究工作者的关注。
但是,由于在pzt系陶瓷中氧化铅的含量超过原料总质量的60%以上,氧化铅是一种易挥发性的有毒物质,如果长时间工作在具有氧化铅的环境中,这些氧化铅将蓄积在人的体内,致使大脑和神经系统受到损伤[1]。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
2.1课题简介: 压电薄膜是各种微型传感器和驱动器中不可替代的一个重要组成部分。
随着电子元器件向小型化、多功能化、高灵敏度和绿色化方向的快速发展,近年来,无铅压电薄膜在基础研究与应用两方面都受到了广泛的关注。
铌酸钾钠((k,na)nbo3, knn)基无铅压电薄膜是一类很有应用前景的功能材料。
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