1. 研究目的与意义（文献综述）

（一）课题研究背景

1.氮化硅陶瓷的结构特征、基本性能和应用

2. 研究的基本内容与方案

（一）实验内容

1. 文献调研，了解国内外相关研究概况和发展趋势；

2. 制定流延配方，流延，制备生胚，调整配方；

3. 采取合适的烧结工艺，烧结Si₃N₄陶瓷基板；

4. 样品性能测试及表征；

5. 分析数据，调整方案。

（二）实验方案

实验过程主要分流延、烧结和测试。在本实验中主要探索有机流延工艺对最后的流延基片的影响。流延主要分为两个过程，第一步：配总重量为50g的固体混合物（烧结助剂A和烧结助剂B各占5%，其余为高纯度Si₃N₄粉末）；配溶剂（无水乙醇 磷酸三乙酯 丁酮）；混合，然后球磨12h。第二步：往球磨好的浆体中加入粘结剂和塑化剂，然后再球磨12h。球磨好的浆体取立即进行流延，以防止放置时间过长溶剂蒸发影响浆料的性质。

实验试剂及功能

流延成型工艺：流延法制备过程主要包括浆料制备、流延成型、生坯干燥、脱脂以及烧结几个环节。具体流程如下：

（三）性能表征

采用XRD、FESEM、显微硬度、力学试验等测试技术对Si₃N₄陶瓷基片的物相、显微结构、电化学性能进行测试并进行分析。总结数据，对工艺流程做适当修改。

3. 研究计划与安排

第1－3周：查阅相关文献资料，完成英文翻译。明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案，并完成开题报告；

第4－7周：按照设计方案，进行流延工艺相关实验，制备出符合性能要求的流延坯体，进行烧结；

第8－11周：采用xrd、fesem、显微硬度、力学试验等测试技术对si3n4陶瓷基片的物相、显微结构、电化学性能进行测试；

4. 参考文献（12篇以上）

[1] 宋占永，董桂霞，杨志明，马叔旺.陶瓷薄片的流延成型工艺概述[j].材料导报：综述篇，2009，23(5)：43-46.

[2] 谢雨洲 ，彭超群，王小峰等.流延成型技术的研究发展[j].中国有色金属学报，2015，25(7)：1846-1857.=

[3] 吴音，周和平等.流延法制作aln陶瓷基片工艺[j].electron compon mater,1996，15(1)：20-23.