1. 毕业设计（论文）的内容和要求

查阅相关文献与专业书籍了解目前原子层沉积（ald）的过程，和计算流体动力学（cfd）相关软件的学习，了解此课题相关背景，已有成果以及存在的问题，对论文的研究方向有较深入的认识。

培养学生独立思考及动手做实验的能力，养成良好的科研习惯。

学会查找和阅读文献；学会应用相关实验设备和分析仪器。

2. 参考文献

(1) deng, z., et al., atomic layer deposition process optimization by computational fluid dynamics. vacuum, 2016. 123: p. 103-110.

(2) zhu, m., et al., transport phenomena of falling liquid film flow on a plate with rectangular holes. industrial amp; engineering chemistry research, 2010. 49(22): p. 11724-11731.

(3) othman, s.h., et al., 3d cfd simulations of mocvd synthesis system of titanium dioxide nanoparticles. journal of nanomaterials, 2013. 2013: p. 1-11.

3. 毕业设计（论文）进程安排

2015. 2. 22 ~ 2015. 3. 15：查阅文献。

查阅国内外文献，学习相关软件并了解原子层沉积原理，并按文献进行摸索性的尝试； 2015. 3. 15 ~ 2015. 4 .1：利用课题组已有基础，学习查阅书籍，了解ald实验原理 ，运用fluent前处理器gambit软件，建立实验模型； 2015. 4. 1 ~ 2015. 5. 30：通过学习fluent软件，对实验过程进行模拟，考察腔体内流体流速，压力，温度分布，以及不同温度压力下，表面反应速率变化情况，考察基底不同位置，其表面反应速率分布，优化反应过程，使表面反应更加均匀。

2015. 6. 1 ~ 2015. 6. 10：对所得的模拟数据结果进行分析和统计，完成毕业设计的相关内容。