基于微振动的粉末包覆原子层沉积装置设计开题报告
2021-02-22 11:02
1. 研究目的与意义（文献综述）
1.1选题背景
微纳米颗粒材料有着非常广泛的应用，其中一些应用需要在颗粒表面包覆一层其它材料以得到特殊的颗粒性质[1]。微纳米颗粒材料表面包覆方法现在主要分为气相法、液相法等，具体包括溶胶－凝胶法、物理气相沉积（pvd）、化学气相沉积（cvd）等[2,3]。然而这些方法都有一些缺点，例如保形性差、不能精确控制膜厚、容易产生大尺度聚合等。原子层沉积技术是化学气相沉积技术的一种，它通过将不同前驱体气体轮流地送至基底表面, 在其表面发生自限制性反应, 将物质以单原子膜的形式一层一层沉积在基底表面[4,5,6]。它克服了其它包覆方法的许多缺点，可以精确控制膜厚、进行均匀涂覆等，如今被越来越多地应用于颗粒表面包覆的应用中[7]。
2. 研究的基本内容与方案
研究内容
本设计将就“微振动粉末原子层沉积装置”中的核心技术点进行机理研究及原理机方案设计，具体包括以下三点：
1) 微振动对粉末分散的机理研究及其应用在粉末原子层沉积领域的优势；
3. 研究计划与安排
| 序号 | 起止周数 | 任务 |
| 1 | 第1周 | 调研 |
| 2 | 第2周 | 翻译外文文献 |
| 3 | 第3周 | 完成开题报告 |
| 4 | 第4-5周 | 完成总体方案设计 |
| 5 | 第6-11周 | 绘制三维模型和图纸 |
| 6 | 第12-13周 | 撰写设计说明书 |
| 7 | 第14周 | 准备答辩材料 |
4. 参考文献（12篇以上）
[1] 李勇，李惠琪，夏洋，等. 原子层沉积方法制备核-壳型纳米材料研究[j]. 物理学报, 2013,62(19): 198102.
[2] k.l. choy. chemical vapour deposition of coatings. progress inmaterials science, 2003, 48(2): 57-170.
[3]matthews a.plasma-based physical vapor deposition surface engineering processes. journalof vacuum science amp; technology a, 2003, 21(5): s224-s231.
